Fachartikel aus MECHATRONIK 12/2012, S. 56 bis 57
Strömungssensor in 3D-MID-Technik
Raum- und Funktionsgewinn
Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme, (MEMS) in Verbindung mit der 3D- MID- Technik (Molded Interconnect Devices) ermöglichen einen miniaturisierten Strömungssensor.
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| Der Strömungssensor ist kleiner als ein Stück Würfelzucker (Bild: 2e Mechatronic) |
MEMS / Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme, also winzige Bauelemente, vereinen Logikelemente und mikromechanische Strukturen in einem Chip und. Sie verarbeiten sowohl mechanische als auch elektrische Informationen. Im Prinzip stellt Silizium das Baumaterial für diese mechatronischen Chips die sich aufgrund ihrer Miniaturisierung in Massen herstellen lassen. Dabei können ihre Strukturen kleiner sein als ein µm Mikrometer. Zum Vergleich: Ein menschliches Haar misst zwischen 40 µm bis 120 µm.
Strömungssensor in: Zuckerwürfelgröße
Die Ziele des Forschungs- und Entwicklungsverbundprojekts Hybrid Flow waren schnell fixiert:das Redesign eines Strömungssensors bei paralleler Kosten- und Volumenminimierung. Zur Optimierung stand der aktuell verbaute Strömungssensor der Gruner AG zur Verfügung.
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