Fachartikel aus MECHATRONIK 5/2001, S. 62 bis 64

Vielseitiges Messmikroskop für die Mikrotechnik

Messmikroskope werden klassisch dazu genutzt, um Kleinteile mit hoher Genauigkeit auch an Stellen zu messen, die mit tastenden Systemen nicht zugänglich sind. Aber auch Aufgaben wie Schichtdickenmessung oder Montage und Justage sind bei entsprechender Ausrüstung mit dem guten alten Messmikroskop lösbar.