Fachartikel aus MECHATRONIK 4/2000, S. 36 bis 38

Kupfer in der Halbleiterfertigung

Lange Zeit war Kupfer reines Gift für Silizium. Doch seit kurzem ermöglicht es der ‘>Damascene’<-Prozess, die Eigenschaften von Kupfer gezielt für kleinere und schnellere Schaltkreise zu nutzen. Die Einführung des Prozesses erfordert jedoch umfangreiche Vorbereitungen bei den Halbleiterherstellern.