Fachartikel aus MECHATRONIK 9/2000, S. 74 bis 77

Meilenstein an optischer Auflösung

Mikroskope, die mit tief ultraviolettem Licht arbeiten, können jetzt die besonders von der Halbleiterindustrie benötigten Auflösungen für Strukturbreiten von 0,18 µm und darunter liefern. Aber auch für andere Bereiche wie Mikromechanik und Materialwissenschaft ist die im Mikrometerbereich wesentlich bessere Bildqualität interessant.